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特點:
* 採DSP功能搭載提升了穩定性,應答性,耐氣泡性
* Compact,採用兩個通訊管道,節省空間
* 可移動式電纜,方便配線作業
* 可耐高流體(Max.200℃,高溫規格)
* 多重通訊功能(最多可連32台)

用途:
* 清洗設備的藥液供給的流體檢測
* CMP用漿料流體檢測
* 高溫硫酸,高溫磷酸的流體檢測(Max.200℃,高溫規格)

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